半導體材料氣體 xps-7
¬ 只要更換傳感器單元就可以檢測對象氣體
¬ 用盒式傳感器單元無(wú)需進(jìn)行檢測器校正
¬ 大幅度削減成本和維護時(shí)間
型號 XPS-7 檢測原理 定電位電解式 檢測氣體對象 半導體材料氣體 指示范圍 根據規格 分辨率 實(shí)現滿(mǎn)量程的百分之一 指示精度 FS±10%以?xún)?/FONT> 報警模式 2段報警方式 報警方式 蜂鳴器(間歇音)、報警燈閃爍 應答時(shí)間 60秒以?xún)?/FONT>(60%應答) 電源 5號堿性干電池4節或AC專(zhuān)用變壓器 電池使用時(shí)間 連續12小時(shí)以上 外型尺寸 W 檢測方式 泵吸式 使用溫度范圍 0℃~40℃ 重量 約1.3kg 附件 肩背皮帶、5號堿性干電池4節、過(guò)濾紙兩張 選購件 AC專(zhuān)用變壓器、傳感器專(zhuān)用通電臺、數據收集配套元件
XPS-7對象氣體一覽表 | ||||||||
型號 | 氣體 | F.S | 型號 | 氣體 | F.S | 型號 | 氣體 | F.S |
XPS-7NH | NH3 | 100ppm | XPS-7GH | GeH4 | 1ppm | XPS-7HS | H2S | 50ppm |
XPS-7SH | SiH4 | 25ppm | XPS-7CL | CL2 | 5ppm | XPS-7CO | CO | 250ppm |
XPS-7DC | SiH2CL2 | 25ppm | XPS-7CF | CLF3 | 1ppm | XPS-7DS | Si2H6 | 25ppm |
XPS-7AS | AsH3 | 250ppm | XPS-7HC | HCL | 25ppm | XPS-7F2 | F2 | 5ppm |
XPS-7PH | PH3 | 1ppm | XPS-7HF | HF | 10ppm | XPS-7OZ | O3 | 1ppm |
XPS-7BH | B2H6 | 500ppm | XPS-7HB | HBr | 10ppm | |||
XPS-7SE | H2Se | 250ppm | XPS-7NO | NO | 100ppm |