潔凈無(wú)塵室是怎樣定義

(一)潔凈室之定義 （供大家參考）

潔凈室(Clean Room)，亦稱(chēng)為無(wú)塵室或清凈室。

潔凈室最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱(chēng)之為“潔凈室”。

(二)潔凈室之等級

世界各國均有自定規格，但普遍還是用美國聯(lián)邦標準209為多，以下僅就209D及209E和世界上其它各國制定標準作介紹與相互比較。

209E與209D等最大之不同在于209E表示單位增加了公制單位，潔凈室等級以‵M＇字頭表示，如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此行推，配合國際公制單位之標準化，M字母后之阿拉伯數目字是以每立方公尺中>=0.5(m之微塵粒子數目字以10的冪次方表示，取指數為之，若微塵粒子數介于前后二者完全冪次方之間，則以1.5、2.5、3.5….表示。

美國聯(lián)邦標準FS 209D都以英制每立方英尺為單位，日本則是采用公制，即以每立方公尺為單位，以0.1(m微粒子為計數標準。日本標準之表示法以Class 1，Class2，Class 3……Class8表示，最好的等級為Class 1，最差則為Class 8，以每立方公尺中微塵粒子總數中化為10的冪次方，取其指數而得。

(三)潔凈室控管之項目

1. 能除去空氣中飄游之微塵粒子。

2. 能防止微塵粒子之產(chǎn)生。

3. 溫度和濕度之控制。

4. 壓力之調節。

5. 有害氣體之排除。

6. 結構物與隔間之氣密性。

7. 靜電之防制。

8. 電磁干擾預防。

9. 安全因素之考慮。

10. 節能之考量。

(四)潔凈室之分類(lèi)

1.亂流式(TurbulentFlow)：

空氣由空調箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內之空氣過(guò)濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈室，并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線(xiàn)型運動(dòng)而呈不規則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。

優(yōu)點(diǎn)：構造簡(jiǎn)單、系統建造成本，潔凈室之擴充比較容易，在某些特殊用途場(chǎng)所，可并用無(wú)塵工作臺，提高潔凈室等級。

缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統停止運轉再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時(shí)相當長(cháng)一段時(shí)間。

2.層流式(Laminar)：

層流式空氣氣流運動(dòng)成一均勻之直線(xiàn)形，空氣由覆蓋率100%之過(guò)濾器進(jìn)入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風(fēng)，此型式適用于潔凈室等級需定較高之環(huán)境使用，一般其潔凈室等級為Class 1~100。其型式可分為二種：

(1)水平層流式：水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風(fēng)系統回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側污染較嚴重。

優(yōu)點(diǎn)：構造簡(jiǎn)單，運轉后短時(shí)間內即可變成穩定。

缺點(diǎn)：建造費用比亂流式高，室內空間不易擴充。

(2)垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過(guò)濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵�？煽焖倥懦鍪彝舛�不會(huì )影響其它工作區域。

優(yōu)點(diǎn)：管理容易，運轉開(kāi)始短時(shí)間內即可達穩定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。

缺點(diǎn)：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換過(guò)濾器較麻煩。

3.復合式(Mixed Type)：

復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。

(1)潔凈隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過(guò)濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區與產(chǎn)品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優(yōu)點(diǎn)：A.彈性擴充容易； B.維修設備時(shí)可在維修區輕易執行。

(2)潔凈管道(Clean Tube)：將產(chǎn)品流程經(jīng)過(guò)的自動(dòng)生產(chǎn)線(xiàn)包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節省能源，不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線(xiàn)為最適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導體業(yè)界均適用。

(3)并裝局部潔凈室(CleanSpot)：將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內之產(chǎn)品制程區的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產(chǎn)之用；潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類(lèi)。

潔凈工作臺：等級Class 1~100級。

潔凈工作棚：為在亂流式之潔凈室空間內以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨立之HEPA或ULPA及空調送風(fēng)機組而成為一較高級之潔凈空間，其等級為10~1000級，高度在2.5米左右，覆蓋面積約10M2以下，四支支柱并加裝活動(dòng)輪，可為彈性運用。

(五)潔凈室氣流之流動(dòng)

潔凈室的潔凈度往往受到氣流的影響，換言之，即人、機器隔間、建筑結構等所產(chǎn)生的塵埃之移動(dòng)、擴散受到氣流的支配。

潔凈室系利用HEPA、ULPA過(guò)濾空氣，其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多，因此經(jīng)過(guò)此過(guò)濾器過(guò)濾的空氣可說(shuō)十分干凈。然而潔凈室內除了人以外，尚有機器等之發(fā)塵源，這些發(fā)生的塵埃一旦擴散，即無(wú)法保持潔凈空間，因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。

潔凈室內的氣流是左右凈室性能的重要因素，一般潔凈室的氣流速度是選在0.25~0.5m/s之間，此氣流速度屬微風(fēng)區域，易受人、機器等的動(dòng)作而干擾趨于混亂、雖提高風(fēng)速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風(fēng)速的提高，將影響運轉成本的增加，所以應在滿(mǎn)足要求的潔凈度水準之時(shí)，能以最適當的風(fēng)速供應，以達到適當的風(fēng)速供應以達到經(jīng)濟性效果。

另一方面欲達到潔凈室潔凈度之穩定效果，均一氣流之保持亦為一重要因素，均一氣流若無(wú)法保持，表示風(fēng)速有異，特別是在壁面，氣流會(huì )延著(zhù)壁面發(fā)生渦流作用，此時(shí)要實(shí)現高潔凈度事實(shí)上很困難。

垂直層流式方向要保持均一氣流必須：(a)吹出面的風(fēng)速不可有速度上的差異；(b)地板回風(fēng)板吸入面之風(fēng)速不可有速度上的差異。速度過(guò)低或過(guò)高(0.2m/s，0.7m/s)均有渦流之現象發(fā)生，而0.5m/s之速度，氣流則較均一，目前一般潔凈室，其風(fēng)速均取在0.25~0.5m/s之間。

影響潔凈室的氣流因素很多，如制程設備、人員、潔凈室組裝材、照明器具等，同時(shí)對于生產(chǎn)設備上方氣流的分流點(diǎn)，亦應列入考慮因素。

一般操作臺或生產(chǎn)設備等表面的氣流分流點(diǎn)，應設于潔凈室空間與隔墻板間距2/3之處，如此可使作業(yè)人員工作時(shí)，氣流可從制程區內部流向作業(yè)區，而將微塵帶走；若分流點(diǎn)配置在制程區前方，將成為不當的氣流分流，此時(shí)大部份的氣流將流至制程區之后，作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設備后面，工作臺因而將受到污染，良率也勢必降低。

潔凈室內的工作桌等障礙物，在相接處均會(huì )有渦流現象發(fā)生，相對地在其附近之潔凈度將會(huì )較差，在工作桌面鉆上回風(fēng)孔，將歹使渦流現象減少最低；組裝材料之選擇是否恰當、設備怖局是否完善，亦為氣流是否成為渦流現象之重要因素。

(六)潔凈室之構成

潔凈室的構成是由下列各項系統所組成(在所組成的系統分子中是缺一不可的)，否則將無(wú)法構成一完整且品質(zhì)良好的潔凈室：

(1)天花板系統：包括吊桿(Ceilingrod)、綱梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或Ceilingframe)。

(2)空調系統：包括空氣艙、過(guò)濾器系統、風(fēng)車(chē)等。

(3)隔墻板(Partitionalwall)：包括窗戶(hù)、門(mén)。

(4)地板：包括高架地板或防靜電舒美地板。

(5)照明器具：包括日光燈、黃色燈管等。

潔凈室之建筑主體構造，一般是用鋼筋或骨水泥，但無(wú)論是何種構造，必須滿(mǎn)足如下之條件：A.不會(huì )因溫度變化與振動(dòng)而發(fā)生裂痕；B.不易產(chǎn)生微塵粒子，且很難附著(zhù)粒子；C.吸濕性��；D.為了維持室內之濕度條件，熱絕緣性要高